按单晶生长方法划分:直拉法制各的单晶硅,称为cz硅(片);磁控直拉法制各的单晶硅,称为mcz硅(片);悬浮区熔法制各的单晶硅,称为fz硅(片);用外延法在单晶硅或其他单晶衬底上生长硅外延层,称为外延(硅片)。
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无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,---影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起---漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、---、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。
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